姚力军：填补中国超高纯金属及溅射靶材的空白

姚波

姚力军：填补中国超高纯金属及溅射靶材的空白

来源：新浪衡阳2015年1月22日09:15

　　提要：国家“千人计划”专家，江丰电子创始人姚力军的带领下，2014年江丰电子实现了低氧超高纯钛的批量生产，打破了美国、日本等跨国企业对我国的封锁，使我国成为了世界上第三个能够生产低氧超高纯钛的国家。

　　姚力军：填补中国超高纯金属及溅射靶材的空白

　　超高纯金属材料是半导体产业的必需原材料，也是被日美大型企业严重垄断，造成我国半导体产业依赖性的关键材料。有人曾戏言，当年我国的半导体芯片产业除了水和空气来自中国，其余所有的设备、材料和工艺都来自国外。

　　国家需要半导体材料产业的发展，它是国家安全和所有信息产业进步的基础。如今，在国家“千人计划”专家，江丰电子创始人姚力军的带领下，2014年江丰电子实现了低氧超高纯钛的批量生产，打破了美国、日本等跨国企业对我国的封锁，使我国成为了世界上第三个能够生产低氧超高纯钛的国家。建设完成了23000平方米的高纯钛生产基地，自主设计并制造了低氧超高纯钛熔炼电解设备，完成了多枪冷床电子束熔铸设备的安装，开发了拥有自主知识产权的低氧超高纯钛提炼、熔铸及分析检测等核心技术。

　　在科技创新方面，姚力军带领团队取得了一系列突破。

　　成功完成国家02重大专项(300mm硅片工艺用Al、Ti、Ta靶材制造技术研发与产业化)项目验收，研发的产品成功取代国外进口，在国内中芯国际为代表的半导体企业得到广泛应用，市场占有率超过50%。承担的国家重大专项(300mm硅片45-28纳米配线用超高纯系列溅射靶材)项目得到重大进展，Ta靶材、Cu靶材成功通过台积电等世界一流半导体企业评价，江丰系列产品在以台积电为代表的世界一流半导体企业的最先端工艺得到批量应用，所生产的产品直接用于iphone6、奥迪、丰田等高端终端产品。

　　填补我国在液晶平板显示(LCD)材料产业中的空白，开发的超高纯铝溅射靶材取得重大突破，结束了我国长期依赖从日本进口相关材料的历史。江丰电子所生产的G6代和G8.5代超高纯铝靶材分别成功通过京东方(合肥厂)及华星光电(深圳厂)的评价，在客户端生产线实现应用，江丰电子成为中国第一个能够生产高世代平板显示工业用超高纯靶材的企业，为我国相关产业的发展做出重大贡献。

　　自主知识产权建设取得重大突破。2014年度姚力军作为第一专利发明人获得授权专利27项(其中发明专利21项)，申请发明专利59项(其中发明专利54项)。获得中国有色金属行业科技进步一等奖，宁波市科技进步一等奖。